一、材料放气对真空杜瓦使用寿命的影响（论文文献综述）
熊雄,段煜,胡明灯,李锐平,杜宇,毛剑宏[1]（2022）在《640×512小型化红外探测器杜瓦组件可靠性研究》文中认为在SWa P3（Size,Weight,and Power,Performance and Price）概念的驱使下,第三代制冷红外探测器向着高性能、小型化和轻量化的方向发展。作为军用核心电子元器件,制冷红外探测器的可靠性成为研究的重点。以浙江珏芯微电子有限公司所研制的640×512/15μm小型化杜瓦组件为研究对象,开展了系统性的可靠性研究与试验,涉及到力学、热力学、多余物和真空寿命四个维度。经各项可靠性试验后,640×512/15μm小型化杜瓦组件的性能保持良好,该结果表明此杜瓦组件在总体上具有较高的可靠性,能够满足常规军事应用需求。
孟新军[2]（2021）在《车用LNG气瓶常见升压快原因及解决措施》文中研究指明针对造成车用LNG气瓶升压快的影响因素进行了理论分析,文章重点分析了在企业制造过程中绝热材料的缠绕层数、吸气剂类型、抽真空工艺对升压快气瓶影响的机理,并就各影响因素对应的解决措施进行分析和验证,可为解决车用LNG气瓶升压快问题提供系统的处理方法和思路。
马义刚,李智慧[3]（2021）在《超高真空和高真空技术的应用》文中提出真空技术应用领域的不断拓展促进了不同学科间的相互融合和交叉学科的诞生。超高真空和高真空技术的进步推动了半导体、航天航空、核电能源等高技术产业的发展,为人类的可持续发展提供了保障。近些年,真空腔体、泵、阀门和密封件在增材制造、核聚变、粒子加速器和集成电路等领域发展的带动下取得新的进展,支撑了重要理论验证和重大工程建设,催生了新的科研成果。本文重点介绍了几种真空技术的典型应用,并对其中的关键技术进行论述。
李康[4]（2021）在《多弧离子镀膜机主要零部件优化设计与特性分析》文中研究说明
牛小飞[5]（2021）在《CiADS超导测试中心2K低温系统研制》文中研究表明加速器驱动嬗变研究装置（CiADS）是一台用于加速器驱动嬗变研究的ADS装置,由中科院近代物理研究所承建,项目于2018年在广东省惠州市开工建设。该装置能够开展超导直线加速器、高功率散裂靶、次临界反应堆等系统稳定、可靠、长期运行的策略研究。CiADS超导直线加速器为了达到更高的能量,更高的品质,更高的稳定性,要求射频超导腔具有更高的性能,因此加速器所有超导腔设计运行在2 K超流氦温区。超导腔上线运行之前必须对其性能进行测试以获得其性能参数,确保腔体性能满足设计要求。在调研了国内外2 K低温系统的研究进展后,基于CiADS的工程需求,提出了一套用于超导腔垂直测试的2 K低温系统设计方案。本研究对2 K低温系统流程组织与设计、低温系统热力分析与计算、主要设备的设计与选型、关键设备负压换热器的研发以及系统调试、运行等方面做了较系统的工作。该2 K低温系统采用了一些新设计,2台测试杜瓦可以自由切换,超导腔测试可以连续进行,减小了降温、回温过程,缩短了性能测试的等待时间,能够满足项目建设期间腔体性能测试需求。同时,此套低温系统还具备负压换热器试验、低温热声振荡等其它低温实验测试功能。系统具有一些独特的设计,首次将低温阀箱、负压换热器等设备安置在杜瓦上部侧面,节省了杜瓦径向空间;为了获得2 K温区下更高的温度测量精度,设计了新型管、内外温度测量结构,采用了新的测量仪表和方法。在低温系统搭建完成后,对超导腔2 K低温测试系统进行了降温冷却实验研究,系统从300 K到4.5 K连续冷却及积液过程用时30小时,从4.5 K到2 K超流氦的获得过程用时2.5小时,满足设计需求。至今,系统稳定运行并已交付使用,总共完成了Nb3Sn、铜腔镀铌、纯铌腔等不同超导腔的垂直测试20余次。系统运行稳定,液氦压力稳定在3000±10 Pa以内,液位控制在指定液位的5%以内。本研究所涉及的CiADS超导测试中心低温系统的成功研制不仅为超导腔的低温测试提供可靠的保障,还为十二五大科学工程HIAF、CiADS等超导直线加速器大型2 K低温系统的设计、建造积累了丰富的经验。
李俊[6]（2021）在《超大规模线列红外焦平面杜瓦封装关键技术研究》文中研究指明近年来,超大规模线列红外焦平面探测器组件在气象、资源、环境及天文等领域有着重要的应用。受背景噪声抑制的限制,红外探测器往往需要在100K以下的低温工作。随着系统应用对大视场、高空间分辨率及高时间分辨率等需求的不断提高,单个探测器模块规模的发展已不能满足设计指标要求,需要将几个甚至几十个探测器模块在杜瓦组件内集成,而探测器模块的热匹配性、组件杜瓦的传热及轻量化等问题凸显。因此,发展超大规模线列红外焦平面探测器组件集成封装技术,解决高温度循环可靠性、高温度均匀性及轻量化等关键封装技术,对发展下一代红外焦平面技术具有重要意义。本文以探测器拼接数量为20个的超大规模线列红外焦平面探测器低温封装为研究对象,通过有限元仿真分析、结构设计与迭代优化、试验验证相结合的方法,重点解决红外探测器与超长冷平台的热适配、超长冷平台与制冷机的低热应力与高可靠性耦合、超大尺寸杜瓦轻量化设计与制备等问题,主要研究内容及创新成果如下:针对超大规模线列红外焦平面组件可扩展、可维修、方便测试的原则,创新地设计了一种工作温区100K以下的、由多个“Z”型子基板与TC4辅助安装板精密组装而成的超长冷平台结构,每个子基板三维可调、集成4～8个探测器。分析了支撑分布、支撑材质、支撑壁厚对超长冷平台的力学振动及支撑漏热的影响,结果表明支撑壁厚为0.3mm、三点交错分布的TC4支撑具有较高的抗力学振动特性,超长冷平台的模态一阶基频为356Hz,Y向正弦振动响应的最大放大倍数为1.46倍;当探测器模块从20个扩展到100个时,在保持支撑密度不变的情况下,超长冷平台的模态一阶基频及Y方向放大基本保持稳定,验证了超长线列杜瓦冷平台及交错支撑分布结构的可扩展性。针对超长冷平台高温度均匀性、低封装应力及Z向低温形变的设计指标要求,建立了探测器子模块封装结构的热分析模型,分析了不同厚度、不同材质的基板对探测器耦合热应力及低温形变的影响。结果表明:在金属基板中,采用可伐基板时探测器封装热应力最小,综合指标最优;在探测器宝石电极板与基板间增加平衡层可以减小封装热应力,当可伐基板厚度6mm、因瓦平衡层厚度0.5mm时,Ga As衬底的热应力小于20MPa;在对5个厚度6mm的“Z”型可伐子基板与TC4辅助安装板构成的超长冷平台进行的有限元热仿真分析表明,所有探测器模块Hg Cd Te外延层的最大低温形变为±12.5μm,Ga As衬底的最大热应力为25.3MPa,该冷平台的抗低温形变能力良好。针对由多子基板超长冷平台结构与制冷机冷量单点冷源输出的特点,比较了了多柔性冷链间接耦合、双柔性冷链间接耦合及单个三维柔性冷链直接耦合这三种冷量传输结构,明晰了这三种结构对超长冷平台的温度均匀性及其与冷源之间温差的影响。分析结果表明:在温差控制方面,采用三维柔性冷链结构可以实现两者间的温差最小为4.64K;在温度均匀性控制方面,当加载5W的探测器焦耳热时,双柔性冷链结构和三维柔性冷链结构分别实现了±0.26K、±0.22K的温度均匀性;在柔性方面,对集成三维柔性冷链后的超长冷平台进行热仿真分析,结果表明所有探测器模块Hg Cd Te外延层的低温形变为±12.34μm,Ga As衬底的热应力为25.9MPa,冷链柔性优异。针对超大规模线列红外焦平面杜瓦轻量化的应用需求,提出了拓扑优化、轻量化材料应用、多部件高气密焊接结构与工艺设计相结合的一体化设计实现方法。采用银铜焊料并利用多次钎焊的方式实现了TC4窗口座与可伐过渡环等零件的连接,通过对可伐与TC4钎焊试件镀镍保护的方式抑制Ti元素与Fe元素的接触,EDS和XRD测试结果表明,焊缝中不存在Ti Fe、Ti Fe2等脆性金属间化合物,其平均抗拉强度达到505.8MPa;采用多窗口先独立低温焊再激光焊的方法实现了超大尺寸光窗结构的密封,光窗组件的漏率优于4.80×10-11Torr.l/s;优化后的杜瓦重量9.82kg,减轻率57.3%.搭建了超大规模线列红外焦平面杜瓦热特性测试系统,实现了超长冷平台的温度场及低温平面度的评价测试,并完成了杜瓦制冷组件力学及热学环境试验验证。实测结果表明由20个探测器模块超长线列拼接的杜瓦冷平台的温度均匀性为95±0.26K,超长冷平台与同轴脉管制冷机冷指耦合面间的温差4.67K,超长冷平台上探测器的低温平面度为26.4μm,杜瓦总重量9.86kg,超长冷平台耦合后的随机扫频试验共振点为341.99Hz,与设计结果吻合;杜瓦封装后的整体漏率达到4.2×10-12Torr.l/s,并通过了总均方根6.8grms随机振动试验考核。因此,本课题的研究对后续超大规模焦平面杜瓦的工程化制备具有重要的参考意义。
刘许勋[7]（2021）在《高压电子束焊机室外动枪设计及其密封性能分析》文中提出电子束焊接技术在航空工业、军事、国防等领域越来越重要,特别是高压级别的电子束焊接,在焊接大厚度、大体积工件时,具有非常优异的焊接性能。然而,由于高压电子束焊机中的固定焊枪结构,存在焊接长度受限、焊接空间利用率不足等问题,以致无法满足大体积、深长焊缝工件的焊接要求。由此,本文提出设计一种高压电子束焊机室外动枪结构,该结构可在真空室体积不变的前提下,增加工件焊接长度,也能在大体积工件焊接时,通过电子枪的移动完成焊接,增大焊机的可加工范围,提高真空焊接空间的利用率。本文完成了高压电子束焊机的室外动枪结构和密封设计,对焊机的真空室壁厚、加强筋进行了结构参数计算,通过有限元分析方法获得了真空室在载荷作用下的变形、模态和屈曲的变化规律。计算和分析表明,在真空压力0.1MPa下,焊机运行时的真空室最大变形量为0.7mm,最大等效应力为102.9MPa,一阶固有频率86.774Hz,一阶临界失稳外压115.05MPa;表明所设计真空室满足稳定性和可靠性要求。此外,选取了丁腈橡胶、聚氨酯、氟橡胶三种橡胶材料进行了拉伸实验,得到上述三种材料二阶Mooney-Rivlin模型的材料常数C10、C01。基于弹性力学理论和Archard摩擦磨损原理建立了密封件接触压力和磨损寿命数学模型。计算结果表明,室外动枪密封结构的预测工作寿命为42天,满足使用要求。对高压电子束焊机的室外动枪密封结构进行了仿真分析。在静密封状态下,利用有限元分析方法分别研究了O型密封圈的压缩量、材料以及耐磨环厚度等参数对密封结构密封性能的影响,获得了主密封接触面上接触压力及Mises应力分布情况,探讨了室外动枪密封结构在不同工况条件下的静密封性能,为密封结构设计奠定了理论基础。在静态仿真基础上,构建了密封结构动态仿真模型,分析了动枪往复移动速度、摩擦系数等因素对接触压力和Mises应力分布情况,研究了室外动枪密封结构在不同工况下的动密封性能,得到在O型圈压缩量为3mm、耐磨环厚度为6mm、速度为1mm/s和摩擦系数0.01～0.03之间时密封性能较为优异。搭建了室外动枪缩小比例密封实验平台,分别在静态和动态工况下对密封结构进行密封性能实验,得到了真空度随时间变化规律。实验表明,该密封结构在静态工况下,真空腔内的真空度在3355s时为9.9×10-3Pa,随着时间的变化真空度基本保持稳定;在动态工况条件下,即滑台连续不断进行往复运动,真空泵连续对真空室进行4.5h的抽气,真空腔内真空度一直在下降,最后为5.5×10-3Pa。所设计的密封结构可满足高压电子束焊机室外动枪密封要求。
孙长江[8]（2021）在《多种等离子体模拟直线装置（MPS-LD）的物理设计》文中进行了进一步梳理探寻安全清洁的能源,并满足日益增长的能源需求是一项关键挑战。如何实现受控核聚变能的和平利用成为各国研究的热点问题。作为最有希望实现可控核聚变的装置,托卡马克运行过程中,会产生大量的热量和粒子,需要将其及时排除,偏滤器靶板是发生等离子体与材料相互作用的主要区域。现有的托卡马克装置开展等离子体与材料相互作用的相关研究存在如诊断困难、环境复杂等弊端。直线等离子体实验装置具有很好的可诊断性、参数可控性和稳态运行特性,可方便进行等离子体与材料相互作用研究。基于上述物理问题及直线等离子体实验装置的优势,我们拟设计并建造一台直线等离子体实验装置,名为多种等离子体模拟直线装置（MPS-LD）,为今后相关实验研究工作的开展提供平台。本文主要开展了MPS-LD装置关键系统的物理设计,经过对每个系统的详细设计研究,最终确定总体设计如下:MPS-LD装置的主体部分是一个3 m的圆柱形真空腔室,由直径0.4 m和0.6 m的两部分构成,它的外侧包裹的11个线圈可以产生0.3 T的轴向磁场。腔室分为等离子体源室,辅助加热室和靶室三部分,通过三级差分抽气的方式,使本底中性压降到10-4 Pa,实验过程中的中性压保持在10-2 Pa。等离子体源主要采用螺旋波源和以六硼化镧为阴极的电弧源,产生的电子密度可达1018-1019 m-3,能满足不同的实验需求。在辅助加热室中,通过电子伯恩斯坦波加热和离子回旋共振加热的方式分别有效的实现对电子和离子的辅助加热,可产生电子与离子温度达1-20 e V的等离子体。靶室中拟安装紧凑环,可用于模拟研究托卡马克中加料等关键问题。作者主要参与装置各主要部件的物理设计工作,负责磁体系统设计与磁场模拟、真空系统设计与需求计算、辅助加热系统设计工作。本文第一章主要介绍了研究背景、研究内容及研究意义。第二章主要介绍了MPS-LD装置整体概况,阐述了装置定位和基本参数。第三章主要展示了磁体系统的设计与基于COMSOL Multiphysics软件的磁场模拟,得到了磁场强度0.3 T,磁场波纹度<3%的磁场分布,并确定了对应的各线圈关键参数。第四章介绍了真空系统的设计及针对真空度需求的理论计算。第五章阐述了针对辅助加热系统的相关原理设计,得到了辅助加热所需要的磁场位形和离子加热天线。第六章对不可或缺的各辅助系统及各自满足的实验需求进行介绍。第七章主要对本文所介绍的工作进行总结。
王建[9]（2021）在《基于偏振调制的高精度焦面检测技术研究》文中提出芯片已成为信息社会发展的物质基础,其按照摩尔定律一直向着更细的特征尺寸、更大硅片尺寸的方向发展。光刻技术是芯片制造的核心手段,而更细的线条尺寸意味着光刻分辨力的提高,更大的器件尺寸则意味着更大的光刻曝光视场。从光刻技术的发展来看,提高光刻分辨力的主要路径是增大投影物镜的数值孔径（Numerical Aperture,NA）、缩短曝光波长和降低工艺因子。但无论是增大物镜NA还是缩短曝光波长均极大的缩短了光刻的有效焦深,因此在现代高精度投影光刻中,焦面检测与控制是其中的关键整机技术,是实现光刻成像的前提,是良率的重要保证。从国内外发展情况看,先进投影光刻技术一般要求需要实现几十纳米的焦面控制精度。现有焦面检测相关研究仅关注检测技术本身的精度,对系统性的光刻焦面控制的研究分析不足,造成相关研究成果光刻适应性不足;同时现有焦面检测技术多基于标记或者标记阵列的图像检测,检测精度受工艺条件影响较大,精度不足以支撑先进投影光刻技术,特别是极紫外光刻技术的发展。基于以上需求,本文围绕高精度焦面检测技术,开展了系统性的光刻系统焦面检测与控制技术研究。首先了光刻系统中焦面控制理论的研究,系统性的研究了在光刻体系中焦深与光刻性能的关系以及改善系统焦深的主要方法。然后针对先进投影光刻系统,研究了实际最佳焦面的定位方法及主要应用场景。在此基础上,开展高精度焦面检测技术研究,引入偏振调制,并开展极紫外真空环境适应性研究,完成了高精度极紫外光刻焦面检测系统的设计仿真。在相关项目支持下,建立了焦面检测系统,搭建了相关测试环境和测试平台,开展了焦面检测系统的实验验证,在极紫外真空环境下实现了量程>1mm、检测精度优于±3.9nm（3σ）的焦面检测能力,满足32nm分辨力极紫外光刻原理验证装置的焦面检测需求。为进一步探索焦面检测新技术,本文还开展了基于光栅剪切干涉的纳米级焦面检测方法研究,该方法基于共光路剪切干涉测量,无需参考面,测量环境敏感度较小,抗干扰能力较强,测量精度高;通过实验验证,获得了PV 28.1nm,RMS:9.8nm的检测精度,验证了该方法的可行性。最后,研究了焦面检测数据在光刻系统中的应用场景,分析了调平调焦过程的理论模型与方法。
贺冉[10]（2021）在《高通光离子阱的搭建和应用》文中指出冷原子系统,包括中性原子、囚禁离子、以及冷原子-离子混合系统是实现大规模量子模拟和量子计算的理想系统。激光控制技术在该系统中被广泛地用于冷却、囚禁和操作微观粒子,这已成为当代原子、分子和光学（AMO）领域中最基础、最重要的控制手段。对于离子阱,尤其是包含多种粒子的混合离子阱来说,系统的通光性能需要尽可能地优化,才能为扩展这些光学操作手段提供充足的空间。其中,可编程光镊阵列是一个强大的光学工具,与离子阱的结合尤为迫切。近十几年来,在冷原子系统和分子系统中,光镊已被广泛使用。光镊是一种高度汇聚的远失谐的偶极阱,其光斑半径可以汇聚到几个微米。使用一个高数值孔径的物镜以及一个声光衍射器即可实现可编程的光镊阵列,用于单原子或单离子的寻址。在离子阱中使用光镊具有重要意义。首先,使用光镊束缚离子替代射频电场,能够解决由于射频场固有的微运动带来的问题。第二,使用光镊束缚单个冷原子与电场囚禁的离子相互作用,可以实现低温下的可控的量子化学反应,为相干化学的全量子控制开辟道路。第三,在一维或二维长离子晶体中,使用光镊能够调制离子的局域运动模式,有利于解决离子阱系统中的可扩展问题和并行性问题。但是,光镊要求一个高的数值孔径的物镜和通光窗口,这对于已经复杂的离子阱光路和稀缺的高通光孔径来说是一个挑战。对于当前的大多数离子阱来说,无法同时实现高度汇聚的拉曼光独立寻址,可编程光镊阵列,和高效的荧光收集三种要求。当前的离子阱系统主要使用大体积的金属真空腔,这极大地限制了系统的通光性能。因此,为了解决这个问题,本博士论文主要介绍一种具备高通光性的离子阱系统的设计、搭建、测试及应用。我们设计并搭建了一个新型高通光离子阱,将紧凑的刀片式离子阱与玻璃真空腔相结合。离子阱中心距离四个腔壁只有15mm,能够同时满足四个高数值孔径（NA）物镜的使用,其中两个物镜NA≤0.32,另外两个NA≤0.66,并具备充足的斜入射通光角度。高NA的物镜能够将激光光斑直径汇聚到2μm以下,能够用于光偶极阱、单离子寻址、量子态操作,并能够实现荧光收集。五段式的电极结构能够实现离子运动状态的精确调控。使用激光剥蚀和离子化,我们成功囚禁并冷却了一维174Yb+和171Yb+离子晶体,证明该阱可以稳定地工作。本文详细地介绍了该装置的结构设计和加工方法,并使用数值模拟和实验测量表征该装置的整体性能。这种紧凑的高通光离子阱能够将离子阱、光镊技术、中性冷原子集成到一个系统中,不仅可以作为一个可扩展模块用于量子信息处理,还有助于在混合系统中进行量子化学的实验研究。我们利用单个囚禁离子作为量子模拟器,使用Floquet方法在实验上定位到了黎曼函数的第一个零点和波利亚函数的前两个零点。在恰当的周期性驱动函数控制下,这些函数零点的出现与Floquet系统两个准能量的简并点相关联,并在实验上对应系统演化的冻结。多个周期性的驱动对系统提出了严格要求,依赖离子阱的长相干时间和高保真度的操作和读取精度,黎曼函数第一个零点的测量值为14.3±0.1,十分接近实际值14.1347。我们的工作实现了首次在量子系统中测量黎曼零点的实验研究,为寻找黎曼函数和量子系统之间的关联提供新的思路。
二、材料放气对真空杜瓦使用寿命的影响（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、材料放气对真空杜瓦使用寿命的影响（论文提纲范文）
（1）640×512小型化红外探测器杜瓦组件可靠性研究（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 力学可靠性研究与试验 |
| 2 热力学可靠性研究与试验 |
| 2.1 杜瓦组件环境温度适应性 |
| 2.2 杜瓦组件冷头抗温变性 |
| 3 多余物控制研究 |
| 4 真空可靠性研究与试验 |
| 5 结论 |
| 6 展望 |
（2）车用LNG气瓶常见升压快原因及解决措施（论文提纲范文）
| 前言 |
| 1 影响因素分析 |
| 1.1 绝热材料的缠绕层数 |
| 1.1.1 试验步骤 |
| 1.1.2 试验结果分析 |
| 1.2 吸气剂类型 |
| 1.2.1 试验步骤 |
| 1.2.2 试验结果分析 |
| 1.3 抽真空工艺 |
| 1.3.1 过程数据分析 |
| 2 解决措施分析及结论 |
| 3 结束语 |
（3）超高真空和高真空技术的应用（论文提纲范文）
| 1 真空腔体 |
| 2 真空泵 |
| 3 真空阀门 |
| 4 真空密封 |
（5）CiADS超导测试中心2K低温系统研制（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| abstract |
| 符号表 |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 核能与CiADS |
| 1.2 2K低温系统国、内外应用现状 |
| 1.2.1 2K氦低温系统在大科学装置中的应用 |
| 1.2.2 超导腔测试氦低温系统的发展 |
| 1.3 本文主要研究内容 |
| 第2章 2K低温系统流程设计 |
| 2.1 2K低温获得方法 |
| 2.2 测试需求 |
| 2.3 系统流程设计 |
| 2.3.1 冷却流程 |
| 2.3.2 纯化流程 |
| 2.3.3 外部循环流程 |
| 2.4 本章小结 |
| 第3章 2K低温系统热力分析 |
| 3.1 氦物性 |
| 3.2 液氦两相流传输及压降计算 |
| 3.2.1 液氦两相流流动状态 |
| 3.2.2 液氦两相流传输过程中的压降计算 |
| 3.2.2.1 分离流动模型压降计算 |
| 3.2.2.2 均质流动模型压降计算 |
| 3.3 2K低温系统热负载分析 |
| 3.4 氦循环过程热力计算 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 2K低温系统的主要设备设计 |
| 4.1 基于TRIZ理论的设计方法 |
| 4.1.1 系统功能分析 |
| 4.1.2 物理矛盾分析 |
| 4.1.3 运用科学效应及知识库 |
| 4.2 分配与传输设施设计 |
| 4.2.1 主阀箱结构 |
| 4.2.2 传输管线结构 |
| 4.2.3 加热器设计 |
| 4.3 杜瓦设计 |
| 4.3.1 杜瓦工作流程 |
| 4.3.2 杜瓦结构设计 |
| 4.3.3 杜瓦漏热分析 |
| 4.4 泵组选型 |
| 4.5 负压保护 |
| 4.6 设备布局 |
| 4.7 本章小结 |
| 第5章 负压换热器的研制 |
| 5.1 换热器设计 |
| 5.2 负压换热器数值分析 |
| 5.2.1 负压换热器三维模型处理与网格划分 |
| 5.2.2 边界条件设置与工质物性参数 |
| 5.2.3 数值模拟结果 |
| 5.3 负压换热器优化设计 |
| 5.3.1 单层内换热翅片数对换热性能影响 |
| 5.3.2 螺距对换热性能的影响 |
| 5.3.3 翅片形状结构对换热器性能的影响 |
| 5.3.4 翅片开孔对换热性能的影响 |
| 5.3.5 优化结果 |
| 5.4 本章小结 |
| 第6章 2K低温系统的实验测试 |
| 6.1 测量与控制系统 |
| 6.1.1 测量系统 |
| 6.1.1.1 温度测量 |
| 6.1.1.2 液位测量 |
| 6.1.1.3 压力测量 |
| 6.1.2 控制系统 |
| 6.2 实验测试 |
| 6.2.1 系统调试 |
| 6.2.2 负压换热器性能测试 |
| 6.2.3 超导腔性能测试 |
| 6.3 本章小结 |
| 第7章 总结与展望 |
| 7.1 总结 |
| 7.2 展望 |
| 参考文献 |
| 作者简历 |
（6）超大规模线列红外焦平面杜瓦封装关键技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 超大规模线列红外焦平面探测器的研究进展 |
| 1.2 超大规模线列红外焦平面杜瓦封装技术研究进展 |
| 1.2.1 超大规模线列红外焦平面探测器高精度拼接技术 |
| 1.2.2 超大规模线列红外焦平面杜瓦冷平台结构优化设计 |
| 1.2.3 超大规模线列红外焦平面杜瓦冷平台与制冷机热耦合技术 |
| 1.2.4 红外焦平面杜瓦组件的轻量化技术 |
| 1.3 本文的研究内容及意义 |
| 第二章 超大规模线列红外焦平面杜瓦冷平台结构设计 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 超大规模线列红外焦平面杜瓦的设计指标及要求 |
| 2.2.1 超大规模线列红外焦平面杜瓦的设计指标 |
| 2.2.2 超大规模线列红外焦平面杜瓦的总体结构及设计要求 |
| 2.3 超大规模线列红外焦平面杜瓦冷平台结构设计 |
| 2.3.1 超大规模线列红外焦平面探测器拼接方案设计 |
| 2.3.2 基于多基板二次长线列拼接的超长冷平台结构设计 |
| 2.4 抗力学振动的低漏热支撑的结构优化设计 |
| 2.4.1 支撑设计相关理论 |
| 2.4.2 支撑分布对超长冷平台力学振动的影响 |
| 2.4.3 支撑材质对超长冷平台力学振动及支撑固体传导漏热的影响 |
| 2.4.4 支撑壁厚对超长冷平台力学振动及支撑固体传导漏热的影响 |
| 2.4.5 超长冷平台三点支撑结构的静力学仿真分析 |
| 2.4.6 超长冷平台多点支撑结构的设计与仿真分析 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 超大规模线列红外焦平面探测器低应力封装技术研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 超大规模线列红外焦平面杜瓦探测器与基板耦合结构设计 |
| 3.2.1 线列双波段红外探测器与基板的耦合结构设计 |
| 3.2.2 探测器封装热应力及低温形变相关理论 |
| 3.3 探测器模块热仿真模型准确性验证 |
| 3.3.1 热仿真分析模型及载荷条件设置 |
| 3.3.2 热仿真分析模型验证结果 |
| 3.4 双波段红外探测器子模块的热仿真分析 |
| 3.4.1 热仿真分析模型简化及载荷条件 |
| 3.4.2 热仿真分析结果及讨论 |
| 3.5 双波段红外探测器与子基板耦合结构的封装热应力仿真分析 |
| 3.5.1 基板厚度对双波段探测器耦合结构的封装应力的影响 |
| 3.5.2 因瓦层对双波段探测器耦合结构的封装应力的影响 |
| 3.5.3 不同材质的子基板与双波段探测器耦合结构的封装应力分析 |
| 3.6 超大规模红外焦平面杜瓦冷平台的热仿真分析 |
| 3.6.1 热仿真分析模型及载荷设置 |
| 3.6.2 热仿真分析结果及讨论 |
| 3.7 本章小结 |
| 第四章 基于多基板的超长冷平台与单点冷源热耦合技术研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 真空低温环境下超长冷平台与单点冷源耦合结构的热分析 |
| 4.3 制冷量高效传输结构的优化设计与分析 |
| 4.3.1 超长冷平台与制冷机之间多冷链间接耦合结构设计 |
| 4.3.2 超长冷平台与制冷机之间双冷链间接耦合结构设计 |
| 4.3.3 超长冷平台与制冷机之间三维柔性冷链直接耦合结构设计 |
| 4.3.4 三种冷量传输结构设计与仿真结果的比较分析 |
| 4.4 超长冷平台与三维柔性冷链耦合结构的仿真分析 |
| 4.4.1 超长冷平台与三维柔性冷链耦合后的热仿真分析 |
| 4.4.2 超长冷平台与三维柔性冷链耦合结构的动力学分析 |
| 4.5 本章小结 |
| 第五章 超大规模线列红外焦平面杜瓦轻量化技术研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 超大尺寸窗口座及底板结构优化设计 |
| 5.2.1 超大尺寸TC4窗口座与杜瓦底板的拓扑优化设计 |
| 5.2.2 超大尺寸TC4窗口座与杜瓦底板参数优化设计 |
| 5.2.3 基于多窗口的光窗组件环境适应性的仿真分析 |
| 5.3 基于多窗口的光窗组件焊接结构设计及制备 |
| 5.3.1 光窗组件的焊接结构设计 |
| 5.3.2 TC4与可伐试件的真空钎焊试验 |
| 5.3.3 TC4窗口座与可伐零件的真空钎焊试验 |
| 5.3.4 光窗组件的制备及性能测试 |
| 5.4 本章小结 |
| 第六章 超大规模线列红外焦平面杜瓦封装关键技术试验验证 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 超大规模线列红外焦平面杜瓦热设计结果验证 |
| 6.2.1 超长冷平台的温度均匀性试验验证 |
| 6.2.2 超长冷平台低温平面度测试 |
| 6.2.3 超大规模线列红外焦平面探测器温度循环试验 |
| 6.3 超大规模线列红外焦平面杜瓦力学环境试验验证 |
| 6.3.1 力学环境试验 |
| 6.3.2 力学环境试验结果 |
| 6.4 超大规模线列红外焦平面杜瓦热学环境试验验证 |
| 6.4.1 热学环境试验 |
| 6.4.2 热学环境试验结果 |
| 6.5 超大规模线列红外焦平面杜瓦设计结果 |
| 6.6 本章小结 |
| 第七章 全文总结与展望 |
| 7.1 全文总结 |
| 7.2 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 |
（7）高压电子束焊机室外动枪设计及其密封性能分析（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题来源 |
| 1.2 课题研究背景及意义 |
| 1.3 电子束焊机发展概述 |
| 1.3.1 电子束焊机的组成 |
| 1.3.2 电子束焊机国内外现状 |
| 1.3.3 电子束焊接技术的应用 |
| 1.4 可用于电子束焊接领域往复密封技术研究现状 |
| 1.5 主要研究内容 |
| 第二章 高压电子束焊机真空室与室外动枪设计 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 高压电子束焊机真空室结构设计 |
| 2.2.1 盒型真空室壳体加强筋及壁厚设计 |
| 2.2.2 真空室加强筋设计计算 |
| 2.3 真空室有限元分析 |
| 2.3.1 静力学分析 |
| 2.3.2 模态分析 |
| 2.3.3 屈曲分析 |
| 2.4 高压电子束焊机室外动枪设计 |
| 2.4.1 室外动枪结构设计 |
| 2.4.2 室外动枪密封结构设计 |
| 2.4.3 动枪座静力学仿真分析 |
| 2.5 本章小结 |
| 第三章 室外动枪密封性能分析 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 密封材料 |
| 3.3 橡胶材料本构关系 |
| 3.3.1 橡胶材料拉伸实验 |
| 3.3.2 橡胶本构模型选择 |
| 3.4 组合式密封结构寿命预测 |
| 3.4.1 密封件接触压力理论分析 |
| 3.4.2 密封结构寿命预测 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 室外动枪密封数值模拟 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 静密封数值模拟 |
| 4.2.1 有限元模型建立 |
| 4.2.2 O型圈压缩量对密封性能的影响 |
| 4.2.3 O型圈材料对密封性能的影响 |
| 4.2.4 耐磨环厚度对密封性能的影响 |
| 4.3 动密封数值模拟 |
| 4.3.1 有限元模型的建立 |
| 4.3.2 O型圈压缩量对密封性能的影响 |
| 4.3.3 动枪往复移动速度对密封性能的影响 |
| 4.3.4 密封面间摩擦系数对密封性能的影响 |
| 4.3.5 耐磨环厚度对密封性能的影响 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 高压电子束焊机室外动枪密封性能实验 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 实验内容 |
| 5.2.1 实验装置 |
| 5.2.2 实验步骤 |
| 5.3 实验结果分析 |
| 5.3.1 静态实验 |
| 5.3.2 动态实验 |
| 5.4 本章小结 |
| 总结与展望 |
| 1.全文总结 |
| 2.工作展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 在学校期间主要研究成果 |
| 一 成果 |
| 二 参与项目 |
| 三 获奖情况 |
（8）多种等离子体模拟直线装置（MPS-LD）的物理设计（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 受控磁约束核聚变 |
| 1.2 托卡马克装置 |
| 1.3 等离子体与材料相互作用 |
| 1.4 直线等离子体实验装置 |
| 1.4.1 直线装置优势 |
| 1.4.2 直线装置简介 |
| 1.4.3 直线装置研究现状及前景 |
| 1.5 研究内容及意义 |
| 2 MPS-LD装置主体概况 |
| 3 磁体系统 |
| 3.1 磁体系统设计依据 |
| 3.2 基于COMSOL Multiphysics软件进行磁场模拟设计 |
| 3.3 小结 |
| 4 真空系统 |
| 4.1 真空系统设计依据 |
| 4.2 真空系统组成 |
| 4.3 背景真空度计算 |
| 4.4 实验真空度计算 |
| 4.5 靶室系统 |
| 4.6 小结 |
| 5 辅助加热系统 |
| 5.1 辅助加热目的 |
| 5.2 冷等离子体色散关系 |
| 5.3 离子辅助加热 |
| 5.4 电子辅助加热 |
| 5.5 小结 |
| 6 其他系统 |
| 6.1 等离子体源系统 |
| 6.1.1 六硼化镧作阴极的电弧源 |
| 6.1.2 螺旋波等离子体源 |
| 6.2 诊断系统 |
| 6.3 冷却系统 |
| 6.4 线圈电源系统 |
| 6.5 控制和数据采集系统 |
| 6.6 小结 |
| 7 总结与展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 |
| 致谢 |
（9）基于偏振调制的高精度焦面检测技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 研究背景与意义 |
| 1.2 光刻技术的发展 |
| 1.2.1 无掩模光刻 |
| 1.2.2 有掩模光刻 |
| 1.3 光学投影光刻焦面检测技术概述 |
| 1.4 焦面检测技术发展现状 |
| 1.4.1 光度检焦技术 |
| 1.4.2 标记阵列检测检焦技术 |
| 1.4.3 其他检测技术 |
| 1.4.4 国内检焦技术现状 |
| 1.4.5 检焦技术小结 |
| 1.5 研究内容及论文结构 |
| 第2章 光刻系统焦面控制理论研究 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 光刻系统中焦面控制的基本概念 |
| 2.3 光刻系统中焦深的主要影响因素 |
| 2.3.1 投影物镜成像质量 |
| 2.3.2 投影物镜动力学稳定性 |
| 2.3.3 投影物镜热性能 |
| 2.3.4 硅片地形 |
| 2.3.5 工艺因素 |
| 2.4 焦深对光刻性能的影响 |
| 2.4.1 焦深与光刻分辨力 |
| 2.4.2 焦深与CDU |
| 2.4.3 离焦与综合像质检测 |
| 2.5 提高焦深的主要方法 |
| 2.5.1 分辨力增强技术光学原理 |
| 2.5.2 OAI优化成像性能的光学原理 |
| 2.5.3 离轴照明的实现方法 |
| 2.6 本章小结 |
| 第3章 光刻系统焦面定位方法研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 空间像传感器定位方法 |
| 3.2.1 TIS工作原理 |
| 3.2.2 焦面定位测量方法 |
| 3.3 哈特曼传感器定位方法 |
| 3.3.1 哈特曼传感器工作原理 |
| 3.3.2 焦面定位测量方法 |
| 3.4 曝光定位方法 |
| 3.4.1 曝光能量测试 |
| 3.4.2 曝光窗口工艺实验 |
| 3.4.3 曝光面焦面调平 |
| 3.5 三种测量方法优缺点比较 |
| 3.6 本章小结 |
| 第4章 基于偏振调制的焦面检测方法研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 大量程高精度焦面检测系统研究与分析 |
| 4.3 大量程粗检焦方法研究 |
| 4.3.1 光学原理 |
| 4.3.2 狭缝像位置处理方法 |
| 4.4 基于叠光栅空间像剪切偏振调制的精检焦方法研究 |
| 4.4.1 叠光栅空间像剪切检测方法 |
| 4.4.2 叠光栅偏振调制方法 |
| 4.4.3 电光调制原理 |
| 4.4.4 自动调零方法 |
| 4.5 本章小结 |
| 第5章 基于偏振调制检焦系统设计 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 系统设计 |
| 5.3 光学设计 |
| 5.3.1 照明模块设计 |
| 5.3.2 光路转折设计 |
| 5.3.3 Savart板设计 |
| 5.3.4 检焦成像系统设计 |
| 5.3.5 精检焦探测光路设计 |
| 5.4 机械设计 |
| 5.4.1 总体设计 |
| 5.4.2 关键部件设计 |
| 5.5 电控设计 |
| 5.5.1 设计要求 |
| 5.5.2 干扰分析及抑制 |
| 5.5.3 系统模块概述 |
| 5.5.4 单元电路设计与分析 |
| 5.6 设计精度计算 |
| 5.6.1 粗检焦 |
| 5.6.2 精检焦 |
| 5.7 本章小结 |
| 第6章 高精度焦面检测系统实验验证 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 焦面检测平台搭建 |
| 6.2.1 真空系统搭建 |
| 6.2.2 运动台系统搭建 |
| 6.2.3 环境控制 |
| 6.3 焦面检测平台主要性能 |
| 6.4 实验结果及精度分析 |
| 6.4.1 实验验证 |
| 6.4.2 精度讨论 |
| 6.5 本章小结 |
| 第7章 基于光栅剪切干涉的纳米级检焦方法研究 |
| 7.1 引言 |
| 7.2 检测理论分析 |
| 7.3 实验验证 |
| 7.4 结果分析 |
| 7.5 本章小结 |
| 第8章 调平调焦模型研究 |
| 8.1 引言 |
| 8.2 曝光视场内硅片姿态解算模型 |
| 8.3 整场调平调焦模型研究 |
| 8.3.1 整场调平调焦定义 |
| 8.3.2 整场调平方法 |
| 8.3.3 逐场调焦方法 |
| 8.4 逐场实时调平调焦模型研究 |
| 8.4.1 逐场调平调焦和实时调平调焦定义 |
| 8.4.2 传感器布局 |
| 8.4.3 工件台逐场/实时调平调焦测量模型 |
| 8.4.4 调平调焦运动模型 |
| 8.4.5 调平调焦控制模型 |
| 8.5 本章小结 |
| 第9章 总结与展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 |
（10）高通光离子阱的搭建和应用（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 符号说明 |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 量子信息的发展 |
| 1.2 离子阱的发展 |
| 1.3 离子阱的路线图 |
| 1.4 基于离子阱的量子模拟 |
| 1.5 文章结构 |
| 第2章 ~(171)Yb~+离子与离子阱 |
| 2.1 ~(171)Yb~+离子 |
| 2.1.1 ~(171)Yb~+能级结构 |
| 2.1.2 ~(171)Yb~+的多普勒冷却 |
| 2.1.3 ~(171)Yb~+的初始化和态制备 |
| 2.1.4 ~(171)Yb~+的态探测 |
| 2.2 激光与离子相互作用 |
| 2.2.1 EIT冷却 |
| 2.2.2 边带冷却 |
| 2.2.3 拉曼操作 |
| 2.2.4 拉比频率计算 |
| 2.2.5 微波与离子相互作用 |
| 2.3 Paul离子阱 |
| 2.3.1 Mathieu方程 |
| 2.3.2 离子阱赝势 |
| 2.3.3 离子阱数值分析 |
| 2.3.4 一维离子晶体的运动模式 |
| 2.3.5 离子冷却模拟 |
| 第3章 高通光刀片阱的设计 |
| 3.1 刀片阱设计理念 |
| 3.2 刀片阱尺寸设计 |
| 3.2.1 刀片形状 |
| 3.2.2 刀片角度和间距 |
| 3.2.3 DC电极宽度 |
| 3.3 刀片阱的制作 |
| 3.3.1 刀片加工 |
| 3.3.2 硅片固定基板 |
| 3.3.3 玻璃真空腔 |
| 3.3.4 陶瓷支柱和滤波板 |
| 3.3.5 组装 |
| 3.3.6 真空制备 |
| 3.3.7 光学平台 |
| 第4章 刀片阱的测试 |
| 4.1 螺旋谐振腔 |
| 4.2 直流电压源与滤波 |
| 4.3 激光与光路 |
| 4.3.1 369.5nm激光稳频 |
| 4.3.2 369和399激光光路 |
| 4.3.3 935nm和638nm激光光路 |
| 4.4 离子成像 |
| 4.5 囚禁离子实验 |
| 第5章 Floquet技术与黎曼函数零点 |
| 5.1 黎曼函数与Polya-Hilbert猜想 |
| 5.2 Floquet理论 |
| 5.3 使用Floquet方法寻找零点 |
| 5.4 实验与结果 |
| 第6章 结论 |
| 6.1 总结 |
| 6.2 展望 |
| 参考文献 |
| 附录A 修改记录 |
| 致谢 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 |
四、材料放气对真空杜瓦使用寿命的影响（论文参考文献）
- [1]640×512小型化红外探测器杜瓦组件可靠性研究[J]. 熊雄,段煜,胡明灯,李锐平,杜宇,毛剑宏. 红外技术, 2022(01)
- [2]车用LNG气瓶常见升压快原因及解决措施[J]. 孟新军. 汽车实用技术, 2021(18)
- [3]超高真空和高真空技术的应用[J]. 马义刚,李智慧. 真空, 2021(04)
- [4]多弧离子镀膜机主要零部件优化设计与特性分析[D]. 李康. 上海应用技术大学, 2021
- [5]CiADS超导测试中心2K低温系统研制[D]. 牛小飞. 浙江大学, 2021(01)
- [6]超大规模线列红外焦平面杜瓦封装关键技术研究[D]. 李俊. 中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所), 2021(01)
- [7]高压电子束焊机室外动枪设计及其密封性能分析[D]. 刘许勋. 厦门理工学院, 2021(08)
- [8]多种等离子体模拟直线装置（MPS-LD）的物理设计[D]. 孙长江. 大连理工大学, 2021(01)
- [9]基于偏振调制的高精度焦面检测技术研究[D]. 王建. 中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所), 2021(08)
- [10]高通光离子阱的搭建和应用[D]. 贺冉. 中国科学技术大学, 2021(09)